• 特殊螺丝
  • 固定・定位螺丝

PVFS

小型球头柱塞(通孔型)

Miniature Ball Plunger with Ventilation Hole

  • 真空
  • 无尘

形状図

PVFS小型球头柱塞(通孔型)寸法図

尺寸・CAD

选择

尺寸(M)
所有
5
6
8
10

单位 : mm

型号 M s L Db B d 荷重(N)
min./max.
毎包数量 质量
(g)
CAD
PVFS-5 5 0.9 12 3 2.5 1.5 5.7/9.6 1 0.9 -
PVFS-6 6 1 14 3.5 3 2 6.9/13 1 1.5 -
PVFS-8 8 1.5 16 5 4 2 9.5/16 1 3.5 -
PVFS-10 10 2 19 6 5 3 16/28 1 7 -

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材质、表面处理

PVFS
主体 相当于SUS304
SUS440C(硬度55-60HRC)
薄膜氟涂层
弹簧 SUS631J1

用途

工件的固定・定位
真空装置/FPD制造装置/半导体制造装置

特点

  • 用于FPD制造装置、半导体制造装置等真空装置、真空容器内的定位。
  • 经过无尘洗净・无尘包装。⇒无尘洗净、无尘包装服务
  • 通过薄膜氟涂层,无尘洗净后提高了球的润滑性。
  • 通孔和通槽易于排出蓄积于装置内的气体。

PVFS小型球头柱塞(通孔型)


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